檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Yu-Lin Kuo".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="氮化鋯"
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本論文分別就兩個主題進行研究討論:一為反應性濺鍍氮化鋯薄膜及其作為銅導線之阻障之研究,另一為以鎳電極系統作為生物感測器。 有關於擴散阻障層的部分,VLSL技術的發展,常利用銅作為內接線材料,但在低溫…
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本研究目的在於設計一陶瓷膜取代LIGA製程中所使用的高分子光阻,實驗初期以薄膜電阻率為首要考量條件,篩選現有的商用陶瓷鍍層,並選用薄膜電阻率最高的氮氧化鈦薄膜與次高的碳氮化鉻薄膜作為取代高分子光阻之…